SJT 31072-1994 FS-30联动机完好要求和检查评定方法
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ID： |
A5499F153C7E40658FD348F7410FF24C |
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文件大小(MB)： |
0.22 |
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页数： |
2 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,SJ/T 31072-94,FS-30型联动机完好要求和检查评定方法,1主题内容与适用范圉,本标准规定了 FS-30型联动机的完好要求和检查、评定方法,本标准适用于半导体器件生产中类似FS-3O型的联动机,2完好要求,2.1 主要性能指标,2-1-1生产效率」280只/h；,2-1.2温度范围:0.99OC;,2.1- 3 焊带温度:330±5C,2.2传动系统,2-2-1，上下料传送装置运行可靠,2.2- 2引线框传送装置稳定可靠,2.2- 3工作台移动灵活可靠,2-2-4机械链杆,凸轮运转正常可靠,2-3操作系统,2.3- 1各个操作开关,操作手柄,调节开关灵敏可靠,2.3- 2装片位芯片输送机构工作可靠,2-3.3键合头X—Y—Z三个方向动作正确,运行可靠,2-4振动系统,2.4- 1振动系统稳定,管座输出速度正常,2-4-2振动盘导轨无毛剌、无卡管,2-5气路系统,2- 5-1气动系统的运动件在规定的各种速度范围内,不应发生振动和显著的冲击,不应有停,滞现象,2.5.2 各电磁接触器、磁力启动器、继电器动作灵敏可靠,2.5.3 各气体压カ表头、各流量计指示正确,误差在允许的范围内,且有有效期在内校验合格,证,2. 5-4气路及真空管道、接头、阀门元件之间联结应牢固、密封,无漏气现象,2.6电气系统,2.6 -1电气控制箱内布线整齐，各指示灯齐全完整,指示正确可靠。各种线路标志明显,连接,可靠。线路无破损、老化,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01 实施,— ] —,SJ/T 31072-94,2.6 .2电气系统装置齐全,管线完整,性能良好,运行可靠,2.6 -3各种开关动作灵敏,自动保护装置及报警装置齐全,安全可靠,工作灵敏可靠,2.7 微机控制系统,2.7.1 各开关、按钮、操作键完整无损,动作灵敏、可靠,控制装置各组成部分保持完整、功能,齐全,性能稳定,工作状态良好,显示清晰,2.7.2 显示器能正常显示通电自检的正常信息,微机系统通电自检功能必须正常,2.7-3输入/输出程序正确无误,2. 7-4打印机、穿孔机与主机接口良好,工作正常,2.7 .5装置内部清洁,布线整齐,线路无老化、破裂,各线路标志齐全、正确,2.7 -6所有裸露导体件（包括外壳）,必须与保护接地端子构成通路,保证有永久良好的导电,性,保护接地端子与微机控制系统任何裸露导体和整机外壳之间的电阻不得大于1,2.8 光学系统,2. 8-1显微镜镜头齐全,完好清洁,显微镜调焦机构上、下升降灵活,视场清晰,2- 8-2电视监视器图像清晰,识别系统工作可靠,2.9 加热系统,2 . 9-1加热装置工作稳定、可靠、温度均匀性在设定误差范围内,显示正确.,2 .9.2加热装置各段导轨温度应在工艺范围之内,2.10 安全防护,2.10.1 设备保护盖板、挡尘板齐全,完整无损、牢固、可靠,2.10.2 外壳接地可靠,2-11维护保养,按SJ/T 31002—94《设备维护保养通则》执行,3检查、评定方法,3.1 检查方法,3.1.1 用秒表检测在规定时间内所工作的数量,检测3.5次,计算平均值,3-1-2用EBIP00型温度记录仪按照工艺要求,检测设备导轨中的温度曲线,并与正常温度,曲线比较,3-2评定方法,3- 2-1 主要项目 2.1.1、2.1.2、2. 6.3、2.10.1 .2.10. 2;其余为次要项目,3.2- 2主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项目有二项不符合要求,亦为不完好,设备,3- 2-3完好设备的维护保养应达到优等设备标准,附加说明:,本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出,本标准由中国华晶电子集团公司组织起草,本标准主要起草人:王唯嘉、许明兴、钱立群、吴秀琴,2……
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